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日本日立全自动型原子力显微镜5500M概述
AFM5500M是操作性和测量精度大幅提高,配备4英寸自动马达台的全自动型原子力显微镜。设备在悬臂更换,激光对中,测试参数设置等环节上提供全自动操作平台。新开发的高精度扫描器和低噪音3轴感应器使测量精度大幅提高。并且,通过SEM-AFM共享坐标样品台可轻松实现同一视野的相互观察・分析。
日本日立全自动型原子力显微镜5500M特点
1. 自动化功能
4英寸自动马达台
自动更换悬臂功能
2. 可靠性
排除机械原因造成的误差
大范围水平扫描
采用管型扫描器的原子力显微镜,针对扫描器圆弧运动所产生的曲面,通常通过软件校正方式获得平面数据。但是,用软件校正方式不能*消除扫描器圆弧运动的影响,图片上经常发生扭曲效果。
AFM5500M搭载了新研发的水平扫描器,可实现不受圆弧运动影响的准确测试。
Sample :Amorphous silicon thin film on a silicon substrate
高精角度测量
普通的原子力显微镜所采用的扫描器,在竖直伸缩的时候,会发生弯曲(crosstalk)。这是图像在水平方向产生形貌误差的直接原因。
AFM5500M中搭载的全新扫描器,在竖直方向上不会发生弯曲(crosstalk) ,可以得到水平方向没有扭曲影响的正确图像。
Sample : Textured-structure solar battery(having symmetrical structure due to its crystal orientation.)
3. 融合性
亲密融合其他检测分析方式
通过SEM-AFM的共享坐标样品台,可实现在同一视野快速的观察・分析样品的表面形貌,结构,成分,物理特性等。
SEM-AFM在同一视野观察实例(样品:石墨烯/SiO2)
The ovrlay images createed by using AZblend Ver.2.1, ASTRON Inc.
上图是AFM5500M拍摄的形状像(AFM像)和电位像(KFM像)分别和SEM图像叠加的应用数据。