日本日立热场发射扫描电镜SU7000概述

此次推出的SU7000采用全新设计的探测器，使得对二次电子信号、背散射电子信号的检测以及分离能力大大提升。以前我们要根据不同的观察信号来调整样品与透镜之间的距离(工作距离/以下简称WD)，以获得最佳的观察与分析条件，而SU7000通过新研发的样品仓以及检测器系统，可在同样的WD的条件下更高效地接收各种信号，缩短了样品观察和分析的时间，提高了测试效率。　而且，SU7000还配置了可同时6通道显示界面(前代机型只能同时显示4通道)，进一步升级电镜控制系统，大幅提高了信号获取速度，由此实现了样品的高效率观察。它还标配超大样品仓，增设了附件接口，可适用于各种样?品的观察与分析。主要特点：在相同的WD条件下，可同时实现二次电子，背散射电子观察与X射线能谱分析。可同时实现6通道检测与显示;成像分辨率最大可达10240×7680像素;配置18个附件接口，支持低至300Pa的低真空模式观察;(选配)

日本日立热场发射扫描电镜SU7000特点

★ 采用优异的成像技术

SU7000可以迅速获取从大视野全貌图到表面微细结构等多种检测信号。全新设计的电子光学系统和检测系统，使得装置可以同时接收二次电子和背散射电子等信号，用户可以在短时间内获得更全面的样品信息。

★ 采用多通道成像技术

随着用户对成像需求的不断增长，SU7000特新增了几种探测器，还引进了相应的成像功能。SU7000最多可同时显示和保存6通道信号。实现了获得样品信息的樶大化。

★ 支持不同形状样品、多种观察方法

・大型样品观察

・低真空观察

・超低温观察

・实时观察

等所需的样品仓和真空系统都十分完备，观察方法也是一ying俱全。

★ 支持微纳解析

采用肖特基发射电子枪，最大束流可达到200 nA，适用于各种微纳解析。样品仓形状和接口设置支持EDX分析、EBSD、阴极荧光分析等，接口设备可通过选配附件满足各种特殊需求。

成像能力

追求信息樶大化的检测系统

随着用户对样品数据的需求更加多元化，对检测系统在短时间内捕捉更多的信息提出了更高的要求。SU7000的检测系统可以在不改变WD等条件的前提下，更高效地获取形貌、成分、晶体学以及发光等信息。真正实现了更快速、更全面的信息收集。

同一条件观察

样品：包裹有机物的金属棒

样品提供：Vassar College, Chemistry Dept.

Mr. Smart and Ms. Pineda

通过UD、MD、LD探测器同时采集信号的应用实例 (加速电压：1 kV)

通过UD、MD、LD探测器可以同时采集信号，UD可获取表面微细形状信息，MD可获取表面有机物包覆状态信息，LD可获取整体凹凸形貌信息。在同一个条件下，实现了获取信息的樶大化。

采用可多通道显示的GUI设计

优化信号显示功能

成像单元在信号显示上也作了全新升级。

用户可根据观察需求，选择不同的视场角和通道数。

单屏最多可同时显示4通道信号。

导航功能(SEM MAP)可以轻松捕捉到显示样品仓内信息的CCD相机图像和相机拍摄到的样品图像，快速显示目标图像。

使用双屏显示时，可在一个显示屏上双通道显示1,280×960像素的图像，另一个显示屏专门用来显示信号，最多可同时显示6通道信号。

高自由度的界面布局

使用单屏时，可以单通道、双通道、四通道显示样品信息，也可以显示CCD相机图像、样品台图像/SEM MAP图像等。而且操作画面上的工具栏可以任意移动、添加和删除。

支持双屏显示

1st显示屏专门用来显示图像，2nd显示屏用来显示操作面板画面。上图左图(1st显示屏)是通过SU7000观察到的钢铁中非金属夹杂物的图片。图中清晰呈现出UD、LD、UVD、MD、PD-BSED5个探测器捕捉到的图像以及SEM MAP图。右图(2nd显示屏)将操作面板菜单和图像历史记录窗口在同一个画面中显示，界面布局清晰明了。在实现实时监控图像的同时，操作性能也得到了进一步提升。

可扩展观察和分析方法

样品仓和马达台

样品仓外观

标配18个附件接口

马达台外观

XY轴可移动距离为135×100 mm

样品仓可搭载最大直径为φ 200 mm;最高80 mm的样品。大开仓设计，标配18个附件接口。样品台可搭载XY轴最大移动距离为135×100 mm，最重2 kg的样品。搭载大型样品和功能样品台*不成问题。

相机导航功能(*)

 通过相机拍摄样品 将相机拍摄到的图像显示到SEM MAP画面上进行导航

SU7000可选配导航相机(*)，迅速锁定要观察的位置。相机安装在样品仓内，插入样品后，可半自动拍摄样品的整体图像。该图像会被显示到导航画面(SEM MAP)窗口，因此，用户可以观察窗口中的图像判断位置。最大适用尺寸为φ 100 mm。

(*)

可选配相机。

支持动态观察的检测系统

SU7000可用于环境改变的动态观察。低真空观察时，可以选用PD-BSED(背散射电子探测器)、UVD、MD等各种探测器(**)。

低真空环境的探测器选择

左图为通过MD(背散射电子)，右图为通过UVD(二次电子)探测器观察到的金属氧化物纤维的情况。两张图分别清晰地呈现出氧化物的分散状态和纤维的堆积情况。

PD-BSED：响应速度提高左图是以一般的响应速度，约每两秒扫描一次得到的图像;右图抑制了图像的漂移，使得整体的画质得到了大幅提升。随着响应速度的提高，更适用于In-Situ观察。

(**)

可选配PD-BSED、UVD。