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赛可世界樶高分辨率X-eye NF120概述
纳米-focus X射线检测设备
适应于亚微米单位不良检测要求的半导体封装,晶片领域检测(WLP),配备400纳米级的纳米-focus 射线管的设备。
用精密的定位轴可将不良位置准确的检查出来。
配备3D CT模块时可进行单层分析,通过晶片方向盘的安装,对晶片样品进行自动解读。
赛可世界樶高分辨率X-eye NF120特点
★ 为 Wafer Lebel Packaging检测的非破坏分析设备
★ 提供Dual Type的CT,获得最清影像
★ TSV, Micro Bump, Pattern