HORIBA一键式全自动快速椭偏仪Auto SE概述

一键式全自动快速椭偏仪 Auto SE——新型的全自动薄膜测量分析工具。采用工业化设计，操作简单，可在几秒钟内完成全自动测量和分析，并输出分析报告。是用于快速薄膜测量和器件质量控制理想的解决方案。

技术参数：

1. 光谱范围：450-1000 nm

2. 多种微光斑自动选择

3. 专LI光斑可视技术，可观测任何样品表面

4. 自动样品台尺寸：200mmX200mm；XYZ方向自动调节; Z轴高度>35mm

5. 70度角入射

6. CCD探测器

HORIBA一键式全自动快速椭偏仪Auto SE特点

★ 液晶调制技术，无机械转动部件，重复性，信噪比高

★ 专LI技术成像系技术，所有样品均可成像，对于透明样品,自动去除样品的背反射信号,使得数据分析更简单.

★ 反射式微光斑，覆盖全谱段，利于非均匀样品图案化样品测试

★ 全自动集成度高，安装维护简便

★ 一键式操作软件，快速简单

★ 自动MAPPING扫描，分析样品镀膜均匀性